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固定式氣體偵測器
日本理研計器（RIKEN KEIKI）專為半導體工廠設計的最新一代核心產品為 GD-81D 系列吸引式氣體偵測器，為GD-70D的後繼機型
核心優勢與特徵
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核心優勢與特徵
- 二合一雙氣體偵測：單一機體可同時安裝兩個感測器，同步監測兩種不同的毒性氣體，大幅節省安裝空間與設備投資成本。
- 無縫升級取代：外觀尺寸與前代經典機種 GD-70D 相同，工廠管線與空間無需修改即可直接無痛升級。
- 網頁遠端監控：內建網路功能，作業人員可直接透過 Web 瀏覽器 存取設備狀態，實現遠端即時監控與維護。
- 長壽命靜音抽氣泵：配備全新設計的微型抽氣泵，不僅運作時極為安靜，更大幅延長了使用壽命與運作穩定性。
- 支援熱分解器：可搭配專用的熱分解單元，用以精準偵測 NF3（三氟化氮）、TEOS（正矽酸乙酯） 等半導體製程常見的特殊氣體。
| 項目 | 規格內容说明 |
|---|---|
| 產品定位 | 半導體與高科技工廠專用，定置吸引式氣體檢知器部 |
| 採樣方式 | 泵浦吸引式（內建靜音長壽命抽氣泵） |
| 偵測成分 | 依搭載的感測器單元而定，最多支援單機 2 種氣體同時偵測 |
| 感測器型式 | 採用通用型 U 型智慧感測器單元 |
| 通訊介面 | 支援網路瀏覽器讀取，並具備標準訊號輸出至中央控制系統 |
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