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攜帶式氣體偵測器

TP-70DGⅡ吸引式氣體偵測器
攜帶式氣體偵測器

TP-70DGⅡ吸引式氣體偵測器

日本 理研 Riken Keiki TP-70DGⅡ吸引式氣體偵測器
TP-70DGII 它主要用於檢測半導體晶圓廠、氣瓶櫃(Gas Cabinet)及無塵室環境中的特殊材料氣體洩漏。 
技術與特點
  • 內置催化劑熱分解器:採用高科技熱分解加上定電位電解式原理,能有效降低其他干擾氣體的影響,大幅提升量測精準度。
  • 新型智能傳感器:支援傳感器單鍵快速更換,系統會自動識別新傳感器,維護省時簡便。
  • 流量自動調節:內建強大吸力泵浦(單點吸引式,流速約 0.5L/min),可依現場環境自動維持穩定流量。
  • 大字體 LCD 螢幕:具備白色背光,能清晰同步顯示氣體名稱、即時濃度、流速以及熱分解器的連接狀態。 
 檢測氣體種類與範圍
此型號特別針對以下半導體關鍵氣體進行微量監測(符合安全衛生標準 TLV 值要求): 

 
檢測氣體名稱  化學式 標準檢測範圍 第一警報值 / 第二警報值
六氟丁二烯
0 ~ 5 ppm 或 0 ~ 15 ppm 2 ppm / 4 ppm
八氟環戊烯
0 ~ 5 ppm 2 ppm / 4 ppm
氧硫化碳 0 ~ 15 ppm 5 ppm / 10 ppm

硬體規格
  • 採樣方式:泵浦吸引式(內置流量異常報警)。
  • 報警輸出:具備兩段式獨立氣體警報(紅燈閃爍/常亮)及故障警報(黃燈),可輸出無電壓接點訊號及 DC 4-20mA 訊號連鎖廠務系統(FMCS)。
  • 工作電源:通用全球電壓 AC 100V ~ 240V。
  • 外觀重量:約 180(W)*225(H)*285(D)mm,重量約 6.0 公斤。
  • 安全認證:本體非防爆設計(適用於潔淨室安全區),符合歐洲 CE / 英國 UKCA 標誌認證。
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